Väitös nanotekniikan alalta, Alexander Christian Pyymaki Perros
Väitöksen nimi on Terminen ja plasma-avusteinen atomikerroskasvatus: tutkimus ja käyttö moninaisiin nanoteknologian sovelluksiin
Map © OpenStreetMap. Some rights reserved.
Tässä väitöskirjassa käsiteltiin atomikerroskasvatusta (engl. ALD) ja sen tulokset esitetään jaettuna kahteen osaan. Ensimmäisessä osassa käsitellään AlN:n plasma-avusteista atomikerroskasvatusta (engl. PEALD) ja tutkimusta sen prosessiolosuhteiden vaikutuksesta materiaalin ominaisuuksiin ja kasvuun. Toisessa osassa käsitellään erilaisten ALD ohutkalvojen käyttämistä osana erilaisia nanoteknologian sovelluksia.
Vastaväittäjänä toimii professori Alexey Y. Kovalgin, University of Twente, Hollanti
Valvojana on professori Harri Lipsanen, Aalto-yliopiston sähkötekniikan korkeakoulu, Mikro- ja nanotekniikan laitos